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特气工程

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按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。

 

A 终端用气点:

VMB:终端阀门箱

VMP:终端阀

B毒腐气体供应设备:

GC:自动特气柜

VMB:终端阀门箱门盘面

C特气集中供应设备

BSGS、GC:(大宗气体)自动特气柜

安全气瓶管理

GR:惰性气体气瓶架

Pure Panel:吹扫气体盘面

D特气集中处理、管理设备

Forming Mixer:混气配比柜

Scrubber:处理特气柜排放的废气

Purifier:气体纯化设备

GMS:气体安全管理系统

E特气供应中继设备

VDB:特气分配阀箱

I/0 Box:用气信息中继箱

 

 

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