按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。
A 终端用气点: VMB:终端阀门箱 VMP:终端阀 B毒腐气体供应设备: GC:自动特气柜 VMB:终端阀门箱门盘面 C特气集中供应设备 BSGS、GC:(大宗气体)自动特气柜 安全气瓶管理 GR:惰性气体气瓶架 Pure Panel:吹扫气体盘面 D特气集中处理、管理设备 Forming Mixer:混气配比柜 Scrubber:处理特气柜排放的废气 Purifier:气体纯化设备 GMS:气体安全管理系统 E特气供应中继设备 VDB:特气分配阀箱 I/0 Box:用气信息中继箱
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